一文了解:抗静电塑料在半导体领域的应用

日期:2021-08-11 02:36:16 编辑:科思德塑胶 来源:科思德塑胶 浏览:1618
静电在自然界几乎是无所不在,静电的产生主要来自于摩擦。最经典的塑料摩擦起电,就是大家都熟知的将塑料笔在头发上摩擦后去吸引碎纸屑这个小实验。
半导体制造极易受到误操作和污染的影响,对其保护和洁净度的控制始于晶圆厂并延伸至实际应用中,抗静电塑料在其中发挥重要作用。
一、抗静电塑料的半导体领域应用
1、静电对半导体的危害
造成器件静电损伤
芯片的整个制程中,芯片产品(特别是集成度高或小尺寸的芯片产品)以及晶圆均对静电敏感,容易受到相关设备或工具的静电损伤;
静电吸附尘埃、污染物,降低成品率
半导体的光刻对尘埃特别敏感,在曝光工序时,无论是在晶片上还是在防护罩上的任何级别的尘埃都能引起管芯图形的失效。而在外延生产工序中,晶片表面沾染尘埃,其后果可能是工序生长率的偏离、不完美,晶粒的生长或晶体结构错位。
2、抗静电塑料的作用
顾名思义,抗静电塑料的作用就是在半导体制程中防止静电产生,有助于防止颗粒污染并提高晶圆搬运、存储和转移的可靠性。抗静电塑料广泛应用于制作晶圆盒/载具、光罩盒、晶圆梳、夹具、托盘、 真空吸笔以及洁净室厂房的建造等。

二、抗静电塑料的原理
1、塑料的抗静电方法
塑料具有较高的电阻率和良好的电绝缘性,绝大多数的塑料都是电绝缘材料,但易因摩擦或其他原因带上静电,导致吸尘、放电等。
目前有许多种方法被用来降低塑料的电阻,主要是表面处理和添加导电性物质两种方法。最常使用的方法就是在内部或表面添加抗静电剂,降低塑料表面电阻,赋予其抗静电性能。
2、抗静电剂的作用
凡是能降低塑料表面电阻、防止发生静电堆积的材料都叫做抗静电剂。抗静电剂在塑料加工和使用过程中,会迁移到塑料制品的表面,形成一层抗静电剂层,加快静电荷的“泄漏”。
抗静电剂是一种表面活性剂,它由亲水基因和憎水基因两部分组成,其作用如下:
1) 在塑料表面形成平滑的抗静电剂分子层,可减少摩擦,从而减少静电的产生。
2) 塑料表面的抗静电剂分子层有一定的导电性,可以使静电迅速“泄漏”。
3) 抗静电剂分子本身带有电荷,可中和电荷,消除静电。

种类

结构

主要成分

阳离子型

季铵盐、季磷盐、季硫盐

亲油:单烷基、二烷基

阳离子型:卤素、过氯酸、有机酸

非离子型

多元醇又多元醇酯

亲油基:单烷基、二烷基

多元醇:丙三醇、山梨糖醇、环氧乙烷、多元醇

聚氧化乙烯加成物

亲油基:烷基胺、烷基酰胺、脂肪醇、烷基酚

亲水基:聚氧化乙烯和聚氧化丙烯

两性离子型

内铵盐

阴离子基:胺、烷基咪唑林

丙胺酸盐

阳离子基:碳酸、磺酸

阴离子型

磷酸盐

亲水基:脂肪醇、聚氧化乙烯加成物

亲油基:烷基、烷基苯

高分子型

聚丙烯酸衍生物

亲水性:季胺、磺酸、碳酸

对抗静电剂的要求是:
1)在成型温度下稳定不分解、不挥发、不变色;
2)不降低或不显著降低塑料制品的性能,不与塑料中的其它成分发生化学反应;
3)不过分向表面渗透,防止出现发粘喷霜现象,耐久性好;
4)不影响或显著影响塑料制品的二次加工性,如电镀、印制、喷涂、焊接等;
5)无色、无臭、无味、无毒;
6)价格低廉。

热门文章

  • 老生常谈,POM均聚甲醛和共聚甲醛的区别

    POM是常见的工程塑料之一,而均聚甲醛和共聚甲醛是最常见的POM材料,二者结构相似,有很多共同点,那么二者之间有什么有什么区别?今天就跟小编一起来了解一下。一、背景1960年 美国杜邦(DuPont)公司首次将均聚物型树脂(DELRIN)商品化。1961年 美国Celanese公司(现在的Ti

    浏览量:10958
  • 你可知道PS塑料和ABS塑料哪个好?

    问:ABS塑料与PS塑料哪个好? 答:一般来说,ABS塑料性能是优于PS塑料的,你用PS塑料可以做的产品,ABS塑料一般都可以打出来,而用ABS原料可以做的产品,PS原料不一定能做出来。 如果

    浏览量:9631
  • ETPU是什么材料?这个就是我们要了解的

    ETPU是一种质地柔软、弹性极佳,耐磨、耐撕裂、止滑性能优异的热塑弹性体材料,广泛应用于鞋材领域,不但适合制作运动鞋中底和内底,还适合用于抗反复冲击、运动防护、阻尼、家

    浏览量:8928
  • 速看!耐高温塑料汇总:8大类高耐热工程塑料···

    塑料按长期使用温度分类,可分为通用塑料、工程塑料和高温工程塑料,其中高温塑料又被称为耐热塑料、高性能塑料、特种工程塑料等。工程塑料的长期使用温度在100℃至150℃左右。五大工程塑料包括PA、POM、PBT、PC和PPO。通常应用于机械零件、汽车、电器电子等领域。高温工程塑料的使用温度在150℃以上,这类材料除了较高的耐

    浏览量:8507
  • 带你了解POP和POE塑料的区别在哪里?

    两者没有本质的区别,只是共聚单体含量上有所区别,绝大部分塑性体和弹性体基料都是乙烯,只有DOW的Versify、EXXON的Vistamaxx、三井的Tafmer是丙烯基,共聚单体都为辛烯(8C)、己烯(6C)或丁烯(4C),一般POE共聚单体含量高于20%,POP共聚单体小于20%,因为共聚单体含量的多少导致POE与POP的密度差异,一般POP的密度要高与POE。

    浏览量:7742
  • 聚丙烯带你了解均聚PP和共聚PP的区别

    聚丙烯,是由丙烯聚合而制得的一种热塑性树脂。按甲基排列位置分为等规聚丙烯(isotactic polypropylene)、无规聚丙烯(atactic polypropylene)和间规聚丙烯(syndiotactic polypropylene)三种,今

    浏览量:6518
  • SPS是什么塑料?关于XAREC简单介绍

    间规聚苯乙烯树脂(SPS塑料),是1985年由日本出光成功合成,并于1997年由日本出光实现工业化的纯国产聚合物。(商品名《XAREC》是使用间规聚苯乙烯树脂(SPS)的等级群的品牌。)

    浏览量:6443
  • PC抗UV与不抗UV有何区别?

    PC抗UV就是PC塑胶原料含有抗紫外线吸收剂 热稳定剂,含有抗紫外线,耐老化,耐黄变的性能,UV是紫外线的缩写,英文全称为ultraviolet,紫外线波长为:10-400nm , UVA 波长在 320-390nm ,紫外线会导致设备外壳老化,暴露在户外的设备通常需要抗uv。抗UV耐候PC原料在日常生活中,处处可见的阳光棚的板、电动车遮阳棚、瓦楞板、

    浏览量:5960
  • PC抗老化一般几年?这就是我们要了解的

    PC塑料简介(聚碳酸酯) 英文名称:Polycarbonate 聚碳酸酯是日常常见的一种材料,PC是一种线型碳酸聚酯,分子中碳酸基团与另一些基团交替排列,这些基团可以是芳香族,可以是脂肪族,也可两者皆有。双酚A型PC是很重要的工业产品,PC是几乎无色的玻璃态的无定形聚合物,有很好的光学性。现在PC的介绍已经介绍完了,那现在我们要

    浏览量:5953
  • 韩国SK材料ECOZEN与SKYGREEN的区别在哪里?

    现实生活中很多透明食品容器都用不含双酚A的透明塑胶原料,所以很多选择韩国SK材料ECOZEN与SKYGREEN,今天小编一一带大家分别韩国SK材料ECOZEN与SKYGREEN的区别在哪里? ECOZEN是透明耐高温

    浏览量:5925
  • POM与PA比,哪个更耐磨?

    众所周知塑料齿轮多采用POM和PA,POM因刚性和耐疲劳性高,具有更广泛的应用,POM齿轮相对金属齿轮有较多的优点:质量轻、工作噪音小、耐磨损、无需润滑、可以成型较为复杂的形状、

    浏览量:5828
  • 关于PPE/PS、你知道多少呢?

    PPE/PS就是PPO,中文名称叫聚苯醚,PPE/PS复合材料是在PPE的基础上机上其他热塑性材料例如PS(苯乙烯)、PA(聚酰胺,俗称尼龙)等材料的复合材料。这样加工成型后具有良好的几何稳定性、化

    浏览量:5128
  • 关于PMP材料,你了解多少?

    相关词条 PMP简介 PMP特性 PMP应用 PMP注塑 PMP简介 PMP学名 聚4-甲基戊烯-1单体 4-甲基戊烯-1本色 聚4-甲基戊烯-1是一种高结晶透明塑料,比重为0.83,是所有塑料中最轻的。表面硬度较低,无

    浏览量:4899
  • PC塑料耐高温多少度?你知道吗?

    众所周知,PC塑料具有许多独特优势,然而,仍有一些人对它不甚了解,那么,PC塑料到底能够承受多高的温度呢?根据专家的研究,PC塑料的耐高温范围必须控制在45度至135度之间。一旦超出这个温度范围,就很容易导致PC材料老化变质,并且严重的情况下,它的固有性质会受到影响。正因为Pc材料的特性,它包含碳酸酯基的化合物,根

    浏览量:4879
  • 聚芳砜(PASF)是什么材料?

    中文名称:聚芳砜 英文名称:polyarylsulfone 牌号:PAS 色态:琥珀色透明颗粒 制得:由4,4`-二磺酰氯二苯醚与联苯反应制得 应用:常用作金属詹黏结剂。 PASF聚芳砜性能 与双酚A型聚砜相比

    浏览量:4626

推荐文章

  • 耐高温LCP工程塑料的特点是什么? 耐高温LCP工程塑料的特点是什么?

    近年来的时间当中,可以发现 耐高温LCP工程塑料 使用范围非常广泛,并且获得了很多行业的使用。随着工业产业的告诉发展,市面上所涌现的这类塑料生产厂家也越来越多,不少商家用

  • 低介电改性关键助剂—空心玻璃微珠 低介电改性关键助剂—空心玻璃微珠

    5G通讯对材料有三个需求:低介电、低损耗、轻量化,这些我们之前已经介绍过很多,今天我们给大家介绍的是塑料低介电改性常用助剂空心玻璃微珠。 一、空心玻璃微珠 空心玻璃微珠

  • VALOX,我们了解多少呢? VALOX,我们了解多少呢?

    相关词条 VALOX描述 VALOX目录 VALOX特性 VALOX用途 VALOX描述: VALOX主要(SABIC)美国沙伯基础创新塑料的PBT原料商品名,是指聚对苯二甲酸丁二醇酯为主体所构成的一类塑料,聚对苯二甲酸丁

  • 常用的热塑性塑料颗粒有哪些? 常用的热塑性塑料颗粒有哪些?

    众所周知,为了方便加工及运输,塑料大多以颗粒状形式呈现,现阶段塑料颗粒可以分为再生塑料颗粒和塑料原料颗粒,塑料原料颗粒一般为热塑性颗粒及热固性塑料颗粒,热塑性塑料颗粒包括PP颗粒,PVC颗粒,PE颗粒等等。PE粒子是现阶段使用最多的塑料粒子,通常PE粒子呈现乳白色蜡状颗粒,其无色无味无毒,具有化学稳定性,

  • Grivory是什么树脂?经证实的金属替代材料 Grivory是什么树脂?经证实的金属替代材料

    Grivory树脂是PPA塑料中文为:耐高温尼龙 Grivory热变形温度高达300C以上,连续使用温度可达170C能满足您所需的短期和长期的热性能,Grivory 是 EMS-GRIVORY 所制造并销售的专用热塑性塑料商

  • 凯柏胶宝推出适用于汽车外部的耐候性TPE材料 凯柏胶宝推出适用于汽车外部的耐候性TPE材料

    凯柏胶宝提供一系列具有出色的耐候性的新型热塑性弹性体,专门针对汽车应用中的PP附着力和抗紫外线性能而开发。THERMOLASTK系列的新化合物主要用于如导水板,窗户封装等汽车外部。

  • 宝理开发全新POM等级:针对汽车燃料系统零部件 宝理开发全新POM等级:针对汽车燃料系统零部件

    宝理塑料集团宣布开发几种新型DURACON(R)聚甲醛(POM)牌号,为注塑汽车燃料系统部件的生产提供高流动性,高刚性和设计自由度。这些新材料补充了宝理塑料的旗舰产品DURACON(R)

  • 防静电塑料的应用与发展 防静电塑料的应用与发展

    随着我国经济的快速发展和工业水平的不断提高,各类安全事故仍然是对生产工人和高新技术产品的重要威胁。我们经常被提醒注意职业安全保护的重要性。静电是严重威胁各行业的主

  • 简单介绍关于高耐热PC塑料的一些知识 简单介绍关于高耐热PC塑料的一些知识

    高耐热PC塑料是我们在日常生活中都会遇到的和使用到的一种聚合物的塑料。属于合成树脂的一个部分。由于其自身的优良性能,在工程中成为一个比较通用的工程材料。今天我们就来简单介绍一下高耐热PC塑料的一些知识。首先,我们来看一下高耐热PC塑料的一些物理性质。这种PC塑胶原料的密度是每立方厘米1.18到1.12克之间。当所处

  • 聚甲基丙烯酸甲酯的结晶能力 聚甲基丙烯酸甲酯的结晶能力

    聚甲基丙烯酸甲酯大分子的立体构型不同,结晶能力差异较大。一般而言,随聚合物分子的立构规整性提高,结晶能力也提高。无规立构甲基丙烯酸甲酯及共聚物都是无定型结构,间规